Registro completo de metadatos
| Campo DC | Valor | Lengua/Idioma |
|---|---|---|
| dc.creator | Dussan, A. | - |
| dc.creator | Schmidt, Javier Alejandro | - |
| dc.date | 2017-05-30T16:26:13Z | - |
| dc.date | 2017-05-30T16:26:13Z | - |
| dc.date | 2009-01 | - |
| dc.date | 2017-05-22T14:03:47Z | - |
| dc.date.accessioned | 2019-04-29T15:28:07Z | - |
| dc.date.available | 2019-04-29T15:28:07Z | - |
| dc.date.issued | 2017-05-30T16:26:13Z | - |
| dc.date.issued | 2017-05-30T16:26:13Z | - |
| dc.date.issued | 2009-01 | - |
| dc.date.issued | 2017-05-22T14:03:47Z | - |
| dc.identifier | Dussan, A.; Schmidt, Javier Alejandro; Fracción de Volumen Cristalina en Muestras de µc-Si Dopadas con Boro Obtenida Mediante Espectroscopia Raman; Sociedad Colombiana de Física; Revista Colombiana de Física; 41; 1; 1-2009; 82-84 | - |
| dc.identifier | 0120-2650 | - |
| dc.identifier | http://hdl.handle.net/11336/17105 | - |
| dc.identifier.uri | http://rodna.bn.gov.ar:8080/jspui/handle/bnmm/294677 | - |
| dc.description | En este trabajo, se depositaron muestras de silicio microcristalino dopadas con Boro (μc-Si:H (B)) a partir del método de deposición química en fase de vapor asistida por plasma (PECVD), usando silano (SiH4) diluido en hidrógeno, y diborano (B2H6) como gas dopante. La concentración de diborano se varió en el rango entre 0 y 100 ppm. Se realizó un estudio de las propiedades estructurales a partir de la técnica de espectroscopia Raman. Los espectros Raman revelaron un aumento en la fracción de volumen cristalina (Xc) de las muestras a medida que la concentración de Boro aumentaba desde 0 a 75 ppm. Por encima de 75 ppm se encontró que la Xc decrece nuevamente indicando una amorfización en el material. | - |
| dc.description | In this work, boron doped microcrystalline silicon films (μc-Si:H (B)) was deposited by plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD), using silane (SiH4) diluted in hydrogen, and diborane (B2H6) as a dopant gas. The concentration of B2H6 was varied in the range of 0 – 100 ppm. The structural properties of the films have been investigated by Raman mea-surements. A progressive increase in the crystalline volume fraction for concentrations from 0 to 75 ppm was detected; whereas for boron concentrations above 75 ppm was observed a reduction of XC, which indicates an amorphization of the material. | - |
| dc.description | Fil: Dussan, A.. Universidad Nacional de Colombia; Colombia | - |
| dc.description | Fil: Schmidt, Javier Alejandro. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Centro Científico Tecnológico Conicet - Santa Fe. Instituto de Desarrollo Tecnológico para la Industria Química. Universidad Nacional del Litoral. Instituto de Desarrollo Tecnológico para la Industria Química; Argentina | - |
| dc.format | application/pdf | - |
| dc.format | application/pdf | - |
| dc.language | spa | - |
| dc.publisher | Sociedad Colombiana de Física | - |
| dc.rights | info:eu-repo/semantics/restrictedAccess | - |
| dc.rights | https://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/2.5/ar/ | - |
| dc.source | reponame:CONICET Digital (CONICET) | - |
| dc.source | instname:Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas | - |
| dc.source | instacron:CONICET | - |
| dc.subject | SEMICONDUCTORES | - |
| dc.subject | RAMAN | - |
| dc.subject | PELÍCULAS DELGADAS | - |
| dc.subject | SILICIO MICROCRISTALINO | - |
| dc.subject | Física de los Materiales Condensados | - |
| dc.subject | Ciencias Físicas | - |
| dc.subject | CIENCIAS NATURALES Y EXACTAS | - |
| dc.title | Fracción de Volumen Cristalina en Muestras de µc-Si Dopadas con Boro Obtenida Mediante Espectroscopia Raman | - |
| dc.type | info:eu-repo/semantics/article | - |
| dc.type | info:eu-repo/semantics/publishedVersion | - |
| dc.type | info:ar-repo/semantics/articulo | - |
| Aparece en las colecciones: | CONICET | |
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