Registro completo de metadatos
| Campo DC | Valor | Lengua/Idioma |
|---|---|---|
| dc.creator | Suárez, M. P. | - |
| dc.creator | Mirabella, Maria Cristina | - |
| dc.creator | Aldao, Celso Manuel | - |
| dc.date | 2017-11-13T18:38:14Z | - |
| dc.date | 2017-11-13T18:38:14Z | - |
| dc.date | 2005-11-10 | - |
| dc.date | 2017-11-03T19:56:50Z | - |
| dc.date.accessioned | 2019-04-29T15:55:19Z | - |
| dc.date.available | 2019-04-29T15:55:19Z | - |
| dc.identifier | Suárez, M. P.; Mirabella, Maria Cristina; Aldao, Celso Manuel; Formation of pyramidal etch hillocks in a Kossel crystal; Elsevier Science; Surface Science; 599; 1-3; 10-11-2005; 221-229 | - |
| dc.identifier | 0039-6028 | - |
| dc.identifier | http://hdl.handle.net/11336/28057 | - |
| dc.identifier | CONICET Digital | - |
| dc.identifier | CONICET | - |
| dc.identifier.uri | http://rodna.bn.gov.ar:8080/jspui/handle/bnmm/305380 | - |
| dc.description | Surface roughening due to anisotropic etching was studied experimentally and modeled using the Monte Carlo method for a Kossel crystal. Simulations were used to explore a possible formation mechanism for the appearance of etch hillocks in two and three dimensions. Similarities with pyramidal etch hillocks that are regularly observed in anisotropic etching of Si(100) are discussed. | - |
| dc.description | Fil: Suárez, M. P.. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Centro Científico Tecnológico Conicet - Mar del Plata. Instituto de Investigaciones en Ciencia y Tecnología de Materiales. Universidad Nacional de Mar del Plata. Facultad de Ingeniería. Instituto de Investigaciones en Ciencia y Tecnología de Materiales; Argentina | - |
| dc.description | Fil: Mirabella, Maria Cristina. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Centro Científico Tecnológico Conicet - Mar del Plata. Instituto de Investigaciones en Ciencia y Tecnología de Materiales. Universidad Nacional de Mar del Plata. Facultad de Ingeniería. Instituto de Investigaciones en Ciencia y Tecnología de Materiales; Argentina | - |
| dc.description | Fil: Aldao, Celso Manuel. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Centro Científico Tecnológico Conicet - Mar del Plata. Instituto de Investigaciones en Ciencia y Tecnología de Materiales. Universidad Nacional de Mar del Plata. Facultad de Ingeniería. Instituto de Investigaciones en Ciencia y Tecnología de Materiales; Argentina | - |
| dc.format | application/pdf | - |
| dc.format | application/pdf | - |
| dc.language | eng | - |
| dc.publisher | Elsevier Science | - |
| dc.relation | info:eu-repo/semantics/altIdentifier/doi/http://dx.doi.org/10.1016/j.susc.2005.10.011 | - |
| dc.relation | info:eu-repo/semantics/altIdentifier/url/http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0039602805011337 | - |
| dc.rights | info:eu-repo/semantics/restrictedAccess | - |
| dc.rights | https://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/2.5/ar/ | - |
| dc.source | reponame:CONICET Digital (CONICET) | - |
| dc.source | instname:Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas | - |
| dc.source | instacron:CONICET | - |
| dc.subject | Monte Carlo simulations | - |
| dc.subject | Scanning electron microscopy | - |
| dc.subject | Etching | - |
| dc.subject | Surface structure | - |
| dc.subject | Morphology | - |
| dc.subject | Roughness and topography | - |
| dc.subject | Silicon | - |
| dc.subject | KOH | - |
| dc.title | Formation of pyramidal etch hillocks in a Kossel crystal | - |
| dc.type | info:eu-repo/semantics/article | - |
| dc.type | info:eu-repo/semantics/publishedVersion | - |
| dc.type | info:ar-repo/semantics/articulo | - |
| Aparece en las colecciones: | CONICET | |
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