Registro completo de metadatos
Campo DC | Valor | Lengua/Idioma |
---|---|---|
dc.creator | Dussan, A. | - |
dc.creator | Koropecki, Roberto Roman | - |
dc.date | 2017-08-17T21:34:35Z | - |
dc.date | 2017-08-17T21:34:35Z | - |
dc.date | 2007-12 | - |
dc.date | 2017-08-04T15:49:42Z | - |
dc.date.accessioned | 2019-04-29T15:55:45Z | - |
dc.date.available | 2019-04-29T15:55:45Z | - |
dc.identifier | Dussan, A.; Koropecki, Roberto Roman; Propiedades estructurales y morfológicas de películas delgadas de uc-Si:H; Sociedad Colombiana de Física; Revista Colombiana de Física; 39; 1; 12-2007; 281-284 | - |
dc.identifier | 0120-2650 | - |
dc.identifier | http://hdl.handle.net/11336/22655 | - |
dc.identifier | CONICET Digital | - |
dc.identifier | CONICET | - |
dc.identifier.uri | http://rodna.bn.gov.ar:8080/jspui/handle/bnmm/305559 | - |
dc.description | Una serie de películas delgadas de silicio microcristalino dopadas con Boro (µc-Si:H (B)) fueron depositadas por el método de deposición química en fase de vapor asistida por plasma (PECVD). Las muestras fueron dopas con Boro. La microestructura y morfología de las muestras fue analizada por microscopía de fuerza atómica (AFM), difracción de rayos X y espectroscopía Raman. Se observó un incremento tanto en la fracción de volumen cristalina como en el tamaño de grano a medida que se incrementó la concentración de Boro en las muestras. Las películas de silicio microcristalino dopadas con Boro presentaron una orientación cristalográfica preferencial en el plano (220). | - |
dc.description | A series of films boron doped microcrystalline silicon (µc-Si:H (B)) was deposited by plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD). The samples were Boron doped. The microstructure and morphology of samples were analyzed by atomic force microscopy (AFM), X-ray diffraction (XRD), and Raman spectroscopy. Trends of increasing crystalline volume fraction and grain size were observed with increasing boron concentration in the samples. The doped microcrystalline silicon films showed a preferential crystallographic orientation in the plane (220). | - |
dc.description | Fil: Dussan, A.. Universidad Nacional de Colombia; Colombia | - |
dc.description | Fil: Koropecki, Roberto Roman. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Centro Científico Tecnológico Conicet - Santa Fe. Instituto de Desarrollo Tecnológico para la Industria Química. Universidad Nacional del Litoral. Instituto de Desarrollo Tecnológico para la Industria Química; Argentina | - |
dc.format | application/pdf | - |
dc.format | application/pdf | - |
dc.language | spa | - |
dc.publisher | Sociedad Colombiana de Física | - |
dc.rights | info:eu-repo/semantics/restrictedAccess | - |
dc.rights | https://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/2.5/ar/ | - |
dc.source | reponame:CONICET Digital (CONICET) | - |
dc.source | instname:Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas | - |
dc.source | instacron:CONICET | - |
dc.subject | SILICIO MICROCRISTALINO | - |
dc.subject | PELÍCULA DELGADA | - |
dc.subject | Otras Ciencias Físicas | - |
dc.subject | Ciencias Físicas | - |
dc.subject | CIENCIAS NATURALES Y EXACTAS | - |
dc.title | Propiedades estructurales y morfológicas de películas delgadas de uc-Si:H | - |
dc.type | info:eu-repo/semantics/article | - |
dc.type | info:eu-repo/semantics/publishedVersion | - |
dc.type | info:ar-repo/semantics/articulo | - |
Aparece en las colecciones: | CONICET |
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